1、伺服行星減速機的角度傳達誤差（也叫運動誤差/運動精度）：
角度傳達精度表示在輸入端施加任意轉(zhuǎn)角時，理論旋轉(zhuǎn)輸出的角度和實際旋轉(zhuǎn)輸出的旋轉(zhuǎn)角度之差。什么樣的設備對行星減速機的角度傳達誤差有要求呢：單一方向，持續(xù)運轉(zhuǎn)的設備對角度傳達誤差有要求，比如模切機/印刷機的拉料系統(tǒng)。
2、伺服行星減速機的重復定位精度：
重復定位精度是指重復7次在任意位置上同向定位，測定輸出軸的停止位置，求*大差。測定值用角度表示，表示為±*大差的1/2。對此精度指標有要求的設備有：激光切割機/木工機械等龍門式結(jié)構(gòu)做往復運動的設備。
3.伺服行星減速機的回程間隙：
也稱作背隙，單位：弧分（arcmin），指減速機輸出軸與輸入軸的*大偏差角，將行星減速機的輸入端固定，使輸出端順時針和逆時針方向旋轉(zhuǎn)，當輸出端承受正負2%額定扭矩時，減速機輸出端有一個微*的角位移，此角位移即為回程間隙，背隙出廠初始值為3弧分以下（p0精度特殊品1弧分以下）。